真空鍍膜系列設備--4. TLC系列後視鏡多層鍍膜生產線
 
工作原理:
 
惰性氣體(如氫)在低壓下受電場作用產生輝光放電,形成離子極表面產生濺射現象。濺射出的靶原子沉在玻璃基片上,形成和種薄膜。當在放電氣氛中充入活性氣體 (反應氣體如氧)時,濺射出的靶原子在到基片時與活性氣體進行反應而形成化合物膜。
 
設備結構及特點
 
電氣控制系統採用三菱PLC控制,先進可靠。全機採用"真空鎖"隔離的多室結構,使濺射靶始終處於高真空條件下,保証了靶材的純結和沉積膜層的品質。由于採用雙靶和多種工作氣體,故可鍍多層膜系,從而獲得優良的光學性能。生產過程實現了全自動化控制,從而保証了沉積膜層質量的穩定性和重覆性,同時使更新工業流程和層結構變得非常容易。
 
設備主要參數
1. 可鍍弧形玻璃幾何尺寸:210X130mm(弧深5mm),或根據客戶需求設計。
2. 可鍍膜層及光學性能:可同時使用兩種膜層材料濺鍍多層膜和反應濺射膜,膜系由東泰公司設計或根據用戶選膜系。
3. 每架裝片量:30片
4. 每架生產周期:按不同膜系2 ~ 7.5 分種
5. 年產量:計劃年產量120萬片/5000小時
6. 設備占地:12m x 8.75 m
耗能:水 8t/h,裝機功率120KW
 
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